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    1

    應用ZnO緩衝層提升ZnO:Al 透明導電膜光電性質之研究
    • 機械工程系 /96/ 碩士
    • 研究生: 柯典馥 指導教授: 黃佑民
    • 本研究係利用射頻磁控濺鍍,沉積氧化鋅鋁(ZnO:Al/AlZnO,AZO)透明導電膜於玻璃基板,探討不同ZnO緩衝層鍍膜參數(如射頻功率、濺鍍壓力、氧化鋅緩衝層膜厚、退火溫度)對AZO薄膜的結構、表…
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    • 全文公開日期 2013/07/08 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

    2

    階段濺鍍之氧化矽薄膜研究
    • 機械工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 彭裕傑 指導教授: 趙振綱
    • 本文將利用射頻磁控濺鍍機(RF magnetron sputter)濺鍍氧化矽薄膜於可撓性基材PET上,利用單階段濺鍍技術與雙階段濺鍍技術,並改變濺鍍功率,探討其對氧化矽薄膜之表面粗糙度、表…
    • 點閱:276下載:1
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