檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "氧".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="光穿透率"
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本研究係利用射頻磁控濺鍍,沉積氧化鋅鋁(ZnO:Al/AlZnO,AZO)透明導電膜於玻璃基板,探討不同ZnO緩衝層鍍膜參數(如射頻功率、濺鍍壓力、氧化鋅緩衝層膜厚、退火溫度)對AZO薄膜的結構、表…
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本文將利用射頻磁控濺鍍機(RF magnetron sputter)濺鍍氧化矽薄膜於可撓性基材PET上,利用單階段濺鍍技術與雙階段濺鍍技術,並改變濺鍍功率,探討其對氧化矽薄膜之表面粗糙度、表…